真空氣氛爐常用于滿足不用工藝試驗，可根據物料的特性選擇合適的氣氛形式如：透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結、玻璃的精密退火與微晶化、電子陶瓷與高溫結構陶瓷的燒結、金屬零件淬火及切需快速升溫工藝要求的熱處理等。鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐需在真空條件下的保護氣氛中操作。適用的行業有電子、科研單位、工礦企業、高等院校等實驗和生產。