氣氛爐采用硅碳棒作為加熱元件，采用雙層外殼結構和程序溫度控制系統，移相觸發。可控硅控制，爐采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層外殼 配備風冷系統，可快速升降，外殼整體密封。蓋板密封采用硅膠泥漿。爐門采用硅膠墊，通過水冷系統。氣體通過流量計從后室進出，有許多清洗 爐進氣口。出口有一個燃燒器，可以通過蒸汽、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣體和其他氣體 。